超纯氦的制备技术与应用
发布日期:2025-03-24 浏览次数:16
什么是超纯氦?
国家标准超纯氦的技术指标是纯度达到99.9999%的氦气。
制备超纯氦的方法有哪些?
主要如下:
1. 天然气分离法:这是一种常用的工业方法,以氦天然气为原料,反复液化分
馏,然后利用活性炭吸附纯化,最终得到超纯氦。
2. 合成氨法:在合成氨的过程中,超纯氦可以从尾气中分离纯化。
3. 空气分馏:从液体空气中通过分馏从霓虹氦混合物中提取超纯氦。
超纯氦的具体用途是什么?
1.超低温研究:由于氦沸点极低,常用于实现接近绝对零度的超低温环境。
2. 气相分析:作为气体色谱分析的载气或辅助气体。
3. 焊接及探漏:用于电子及金属加工行业的高精度焊接及泄漏检测。
4. 化学气相淀积和晶体生长:在半导体制造过程中,用于材料沉积和晶体生长。
5. 等离子体干刻:用于等离子体辅助干刻工艺。
6. 特殊混合物:与其他气体混合,用于特定的工业应用。
7. 医学与科学研究:用作MRI(磁共振成像)中的冷却剂等医学成像设备,或
作为科学研究中的标准气体和平衡气体。
8. 充气应用:用于充气球、电子管、潜水服等。(本刊摘编自《我的气体网》
2025-03-24)